汉钟精机：公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用
来源：金融界2023-03-06 16:40:23
汉钟精机接受机构调研时表示，公司氢能源用空压泵目前还在研发、验证阶段。公司半导体真空泵在清洁、中度严苛、严苛制程都有在推广使用，具体运用于LL、去胶、刻蚀、PVD、CVD等制程。目前多用于相对洁净的制程。
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